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槽式湿法制程设备

全自动碳化硅外延最终清洗机

全自动碳化硅外延最终清洗机是一种专门用于碳化硅(‌SiC)‌外延晶片的清洗设备,‌它采用了高稳定气体流场、‌压力场控制、‌感应加热、‌反应腔整机系统设计方案,‌结合自主开发的原位监控技术、‌在线清洗技术以及涂层材料和工艺,‌实现了SiC外延的快速、‌高质量生长。‌此外,‌该设备还提高了运行的可靠性和稳定性,‌确保了清洗过程的效率和品质。‌

该清洗机适用于处理各种尺寸的碳化硅晶片,包括但不限于2-8英寸的碳化硅晶片,能够满足半导体产业中对高纯度、高质量的清洗需求。设备采用机械臂式设计,具有5个槽位,适用于半导体、光伏等领域的应用。控制模式包括手动和自动两种方式,以适应不同的操作需求。


产品详情

1. 工作原理

全自动碳化硅外延最终清洗机是一种高效设备,用于清洁碳化硅材料,其工作原理包括物理清洗和化学清洗。物理清洗主要通过抛光头的高频振动和流体动力学的冲击作用,去除碳化硅表面的杂质。化学清洗则是利用特定的清洗剂与碳化硅表面杂质发生化学反应,将其溶解于清洗液中。这种清洗方式不仅提高了碳化硅的清洁度,还改善了后续工序的生产环境,同时增强了碳化硅与结合剂的结合强度,从而提高了产品的各项性能指标。

2. 工作流程

生产主线为: Load,药液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload,共X个制程工位, 设置为6” *1 cassette晶舟上货,将晶舟置于Robot上货区位置,按下『启动键』,Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程,完成设备本身设定之流程,达成一贯性自动控制的功能。本设备电控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(触摸屏)加PLC控制的自动控制系统,操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位, 按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理

3. 清洗能力

6inch     1cassette   / Batch    25 Pcs/cassette;

4. 产品优势

1) 高效清洗:通过高稳定气体流场和压力场控制,实现了对碳化硅晶片的快速且高效的清洗。

2) 高质量生长:结合感应加热和反应腔整机系统设计,以及自主开发的原位监控技术和在线清洗技术,保证了外延生长的高质量。

3) 可靠性与稳定性:通过优化涂层材料和工艺,提高了设备的运行可靠性和稳定性。

4) 适用范围广:能够处理2-8英寸的碳化硅晶片,满足不同尺寸的需求。

5) 安全与操作简便:设备结构紧凑且安全,采用工控机控制,自动化程度高,操作简便,同时可以根据用户需求提供个性化解决方案。

5. 产品特点

01)溢流工艺的应用,保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度;
02)优化配管设置,节约DIW消耗量;
03)工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;多工艺数据库,可供用户使用和存储;
04)整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等,需润滑的零件必须密封处理;
05)整机采用PLC控制,IPC显示,清洗槽定温控制,过温保护及超(兆)声低液位保护;
06)整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便;
07)整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;
08)机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮,设备两端各一个),并按照标准设置接地保护断路器;
09)整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,处设有漏液报警,前后区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;
10)清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;
11)设计合理化的排风管路,使有机液挥发气体的污染最小化;
12)设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部;
13)废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放;
14)设备内废气总管路可用维护区水枪清洗,清洗废液流入有机、酸碱废液总管;
15)工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式,需采用四面溢流;如果无法实现,至少需要三面溢流;
16)  设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口;
17)机台排风口处安装排风压力监测装置(带信号报警装置);
18)机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);
19)工艺槽槽体倾斜式,便于排空;
20)机台电器部分具备正压N2保护,防止腐蚀;
21)溢流:IDLE TIME>SET TIME,溢流停止,达到节能目的;
22)废液排放,每个工艺槽采用独立排放管道,对应QDR也采用独立排放口;
23)排风,工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构;
24)换液提醒功能,所有制程能根据配液时间或运行批次数量通知换酸;
25)工艺结束可以设置预先报警功能,预报警声音和实际报警声音要有所区分;
26)工艺说明: 自动传动,自动方式实现槽体间传送工件,手臂按照菜单选择流程作业,生产部人员选取菜单进行作业,这个过程全自动进行;
27)全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;
28)搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;
29)搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全;
30)搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置(光电传感器、机械传感器、机械装置等),以保护操作人员安全;
31)上下料方向:左进右出,花篮水平放置;
32)颗粒指标,尺寸大于XX μm的颗粒,密度不超过XX个/cm2;
33)目前金属离子残留测试,包括XX种元素:------,每一种金属元素残留指标均要求

6. 安装及售后

1) 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

2) 为用户工厂操作工提供培训,培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

3) 无偿提供为期一年的技术支持与服务,一年后继续提供终身技术服务。在质保期内,提供7*24小时内电话支持服务,24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

4) 可提供随机备件、易损品及随机工具。

 


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