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槽式湿法制程设备

全自动超薄片清洗机

全自动超薄片清洗机是一种高效的清洗设备,适用于清洗超薄片材料,如超薄镜片、滤光片等。这种清洗机通常采用超声波清洗技术,通过将超声波电功能转换为超声波机械能,实现高效、彻底的清洗效果



产品详情

1. 工作流程

生产主线为:腐蚀槽1、冲水槽2、轻刻槽3、冲水槽4、上下料台,共4个清洗工位。右进右出设备。本设备电控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(触摸屏)加PLC控制的全自动控制系统,操作者只须将清洗花篮放置于上下料工位上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。

2. 清洁能力

6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette;

3. 产品优势

1) 高效清洗:能够快速彻底地去除超薄片材料表面的污渍和微小颗粒,保证清洗质量。

2) 无死角清洗:能够实现360度无死角清洗,确保清洗效果均匀一致。

3) 适用于大批量生产:操作简单,性能稳定,适合大批量连续生产,提高生产效率。

4) 节能环保:采用压缩机制冷,高达93%的回收率,有效降低使用成本,同时提高产品的综合市场竞争力。

5) 智能化设计:具备产能等智能化计数功能,采用机械手操作、PLC控制,减轻员工劳动强度,减少人力资源,提高竞争优势。

6) 高效组合清洗:采用超声波清洗+喷淋清洗的高效率清洗组合,可有效去除微米单位的粒子,确保清洗效果。

4. 产品特点

1) 工艺说明: 自动传动,自动方式实现槽体间传送工件,手臂按照菜单选择流程作业,生产部人员选取菜单进行作业,这个过程全自动进行;

2) 全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;

3) 搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳;

4) 搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全;

5) 溢流工艺的应用,保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度;

6) 工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;多工艺数据库,可供用户使用和存储;

7) 整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等;

8) 整机采用PLC控制,触摸屏显示,清洗槽定温控制,过温保护及超(兆)声低液位保护;

9) 整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便;

10) 整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;

11) 机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮,设备两端各一个),并按照标准设置接地保护断路器;

12) 整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,处设有漏液报警,前后区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;

13) 清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;

14) 设计合理化的排风管路,使酸碱液挥发气体的污染最小化;

15) 设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部;

16) 工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式,需采用四面溢流;如果无法实现,至少需要三面溢流;

17) 软件具有防呆功能;

18) 搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置(光电传感器、机械传感器、机械装置等),以保护操作人员安全;

19)   设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口;

20) 机台上下料区配水***2把;

21) 机台排风口处安装排风压力监测装置(带信号报警装置);

22)   机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);

23)  工艺槽槽底倾斜式,便于排空;

24) Cassette transfer time < 5sec;

25) 机台电器部分具备正压N2保护,防止腐蚀;

26) 具有作业记录功能,可以 USB 接口 U 盘调取,配置摄像头,并配置硬盘用于视频保存,视频保留时间不少于 30 天;

27) 两个药业槽工艺时间到后有声光提示;

28) 机台地脚做防腐处理:1.喷防腐漆,2.增加PP防护盒;

29) 供液系统人工换桶时防止废液回流,加装收集桶;

30) 机台具备漏液监测功能,如发生漏液报警时自动关闭排液功能;

31)  Cassette搬运使用工装方式;

5. 安装及售后

1) 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

2) 为用户工厂操作工提供培训,培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

3) 无偿提供为期一年的技术支持与服务,一年后继续提供终身技术服务。在质保期内,提供7*24小时内电话支持服务,24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

4) 可提供随机备件、易损品及随机工具。


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